半導體工業需要大量的超純水，隨著半導體工業的發展，對超純水水質的要求日趨嚴格。
上海市生態環境局近期發布《半導體行業污染物排放標準》。
上海市地方污染物排放標準目錄
水方面，標準設置了21項水污染物控制項目。
其中，二類污染物14項，增加了石油類、總氮、總磷、陰離子表面活性劑4項常規因子及總鋅特征因子，刪除了BOD5。
這些水質污染物，HACH哈希水質分析儀DR6000哈希多參數儀都可以檢測。
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