半导体工业需要大量的超纯水，随着半导体工业的发展，对超纯水水质的要求日趋严格。
上海市生态环境局近期发布《半导体行业污染物排放标准》。
上海市地方污染物排放标准目录
水方面，标准设置了21项水污染物控制项目。
其中，二类污染物14项，增加了石油类、总氮、总磷、阴离子表面活性剂4项常规因子及总锌特征因子，删除了BOD5。
这些水质污染物，HACH哈希水质分析仪DR6000哈希多参数仪都可以检测。
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